Kostir rafeindasmásjár í samanburði við ljóssmásjár
Þrátt fyrir að upplausn rafeindasmásjáa sé mun betri en ljóssmásjár, er erfitt að fylgjast með lifandi lífverum vegna þess að þær þurfa að vinna við lofttæmi, og geislun rafeindageisla mun gera lífsýnin þjást af geislunarskemmdum. Önnur vandamál, eins og birta rafeindabyssunnar og endurbætur á gæðum rafeindalinsunnar, þarf einnig að halda áfram að rannsaka.
Upplausnarkrafturinn er mikilvægur vísir rafeindasmásjáarinnar, sem tengist keiluhorni áfalls og bylgjulengd rafeindageislans í gegnum sýnið. Bylgjulengd sýnilegs ljóss er um 300 til 700 nanómetrar og bylgjulengd rafeindageislans er tengd hröðunarspennunni. Þegar hröðunarspennan er 50 til 100 kV er bylgjulengd rafeindageislans um 0,0053 til 0,0037 nanómetrar. Þar sem bylgjulengd rafeindageislans er miklu minni en bylgjulengd sýnilegs ljóss, þannig að jafnvel þótt keiluhorn rafeindageislans sé aðeins 1% af ljóssmásjánni, þá er upplausnargeta rafeindasmásjáarinnar enn mun betri en ljóssmásjánnar. smásjá.
Rafeindasmásjá samanstendur af þremur hlutum: spegilrör, lofttæmikerfi og aflgjafaskáp. Tunnan er aðallega með rafeindabyssu, rafeindalinsu, sýnishornshaldara, flúrljómandi skjá og myndavélarbúnaði og öðrum íhlutum, þessir íhlutir eru venjulega settir saman frá toppi til botns í súlu; tómarúmskerfi samanstendur af vélrænni lofttæmisdælu, dreifingardælum og lofttæmilokum osfrv., Og í gegnum dæluleiðsluna sem er tengd við tunnu spegilsins; aflgjafaskápur samanstendur af háspennu rafalli, örvunarstraumsjafnara og ýmsum stjórnunareiningum.
Rafeindalinsa er mikilvægur hluti af rafeindasmásjá tunnu, það er samhverft við ás tunnu í geimnum rafsviði eða segulsviði þannig að rafeindabrautin að ás myndunar á fókus hlutverki gler kúptar linsu til að gera hlutverk ljósgeisla fókus er svipað hlutverk linsu, svo það er kallað rafeinda linsa. Flestar nútíma rafeindasmásjár nota rafsegullinsur, með mjög stöðugum DC örvunarstraumi í gegnum spóluna með skautskó sem myndast af sterku segulsviði til að einbeita sér að rafeindunum.
Rafeindabyssan er íhlutur sem samanstendur af wolfram heitri bakskaut, hliði og bakskauti. Það gefur frá sér og myndar rafeindageisla með jöfnum hraða, þannig að stöðugleiki hröðunarspennunnar þarf að vera ekki minni en einn hluti af hverjum tíu þúsund.
Hægt er að flokka rafeindasmásjár í sendingarrafeindasmásjár, skanna rafeindasmásjár, endurskinsrafeindasmásjár og rafeindasmásjár með rafeindasmíði eftir uppbyggingu þeirra og notkun. Sendingar rafeinda smásjá er oft notuð til að fylgjast með þeim sem eru með venjulegar smásjár geta ekki greint fína uppbyggingu efnisins; skönnun rafeindasmásjá er aðallega notuð til að fylgjast með formgerð fastra yfirborða, en einnig með röntgengeislabreiðumælinum eða rafeindalitrófsmælinum sameinað til að mynda rafeindasmásjá, notað til að greina efnissamsetninguna; rafeindasmásjá til að rannsaka yfirborð sjálfsútgáfu rafeinda.
Rafeindageisli rafeindasmásjár fer ekki í gegnum sýnið heldur skannar aðeins yfirborð sýnisins til að örva aukarafeindir. Skínkristal sem settur er við hlið sýnisins tekur á móti þessum aukarafeindum, sem eru magnaðar til að stilla styrk rafeindageisla CRT og breytir þannig birtustigi á flúrljómandi skjá CRT. Beygjuspólu CRT er samstillt við rafeindageislann á yfirborði sýnisins, þannig að flúrljómandi skjár CRT sýnir staðfræðilega mynd af sýnisyfirborðinu, sem er svipað og vinnureglur iðnaðarsjónvarpstækja.
Upplausn rafeindasmásjár ræðst aðallega af þvermáli rafeindageislans á yfirborði sýnisins. Stækkunin er hlutfall skönnunarmagns á túpunni og skönnunarmagns á sýninu, sem hægt er að breyta stöðugt frá tugum til hundruð þúsunda sinnum. Skanna rafeinda smásjár þurfa ekki mjög þunn sýni; myndin hefur sterka tilfinningu fyrir þrívídd; og getur greint samsetningu efnis með því að nota upplýsingar eins og aukarafeindir, frásognar rafeindir og röntgengeisla sem myndast við samspil rafeindageislans við efnið.
Skanna rafeindasmásjá rafeindabyssu og blettaspegill og rafeindasmásjá er nokkurn veginn eins, en til þess að rafeindageislinn sé fínni, er í blettaspeglinum undir linsunni bætt við og dreifaranum, í linsunni einnig búin með tveimur settum hornrétt á hvert annað inni í skannaspólunni. Sýnahólfið undir hlutlinsunni er búið sýnastigi sem hægt er að færa, snúa og halla.
