Greining með Optical Microscopy (OM)
Tæknilegar reglur
Myndgreiningarreglan ljóssmásjár er að nota sýnilegt ljós til að lýsa yfirborð prófunarhluta til að valda staðbundinni dreifingu eða endurspeglun til að mynda mismunandi andstæður. Hins vegar, vegna þess að bylgjulengd sýnilegs ljóss er allt að {{0}} angström, er upplausn (eða mismununarhraði, upplausnarorka) kerfisins Vísar til stystu fjarlægðar sem hægt er að greina tvo punkta), það er náttúrulega verst. Við venjulega notkun, þar sem aðgreiningarhlutfall berum auga er aðeins 0,2 mm, þegar ákjósanlegur upplausn ljóssmásjáarinnar er aðeins 0,2 um, er fræðileg hámarksstækkun aðeins 1000. Það er stærsta myndgreiningarkerfið, sem sýnir að athuganir með ljóssmásjám geta í raun enn veitt mikið af bráðabirgðaupplýsingum um uppbyggingu.
Vélargerð
Greiningarforrit
Þrátt fyrir að stækkun og upplausn ljóssmásjáa geti ekki uppfyllt þarfir yfirborðsathugunar á mörgum efnum, eru þau enn mikið notuð í eftirfarandi forritum, svo sem:
Athugun á þversniðsbyggingu íhluta;
Planar seinkað uppbyggingu greiningu og athugun;
Athugun á úrkomulausu svæði;
Athugun á lélegri röðun og ofát (Overetch) beyglum;
Rannsóknir á Oxidation Enhanced Stacking Faults (OSF) o.fl.
Hver er hámarksstækkun ljóssmásjár?
Ljóssmásjárstækkun byggir aðallega á hlutlinsunni til að stækka hlutinn í raun og augnglerið til að auka myndina sem stækkað er með hlutlinsunni. Hlutlæg linsa ljóssmásjár getur aðeins farið allt að 100 sinnum og augnglerið getur aðeins farið allt að 10 sinnum.
16 sinnum
Hámarks augngler er 20x. Þess vegna, þegar hlutlinsan er 100 sinnum og augnglerið er 20 sinnum, getur heildarstækkunin orðið 2000 sinnum. En 2000 sinnum er aðeins tölulegt 2000 sinnum, ekki sönn stækkun upp á 2000 sinnum. Til dæmis, þegar augnglerið er 10x, er hlutlinsan 100x og heildarstækkunin er 1000x, vegna þess að raunveruleg stækkunarlinsa er enn 100x, en augnglerinu er breytt úr 10x í 20x. Horfir 2000 sinnum
1000 sinnum, munur tvisvar, en í raun er það aðeins 10 sinnum munur.
