Munur á rafeindasmásjá og málmsmásjá
Meginreglur skanna rafeindasmásjár
Skanna rafeindasmásjá, skammstafað sem SEM, er flókið kerfi; Einbeitt rafræn sjóntækni, tómarúmtækni, fín vélræn uppbygging og nútíma tölvustýringartækni. Skönnun rafeindasmásjár er ferlið við að sameina rafeindir frá rafeindabyssu við hraðan háþrýsting í lítinn rafeindageisla í gegnum fjölþrepa rafsegullinsu. Skannaðu yfirborð sýnisins til að örva ýmsar upplýsingar og greindu yfirborð sýnisins með því að taka á móti, magna upp og sýna myndir af þessum upplýsingum. Samspil rafeindarinnar og sýnisins framleiðir þá tegund upplýsinga sem sýnd er á mynd 1. Tvívídd styrkleikadreifing þessara upplýsinga er breytileg eftir eiginleikum sýnisyfirborðsins (svo sem formgerð yfirborðs, samsetningu, stefnu kristals, rafsegulfræðilegir eiginleikar, o.s.frv.). Það er ferlið við að umbreyta upplýsingum sem safnað er með ýmsum skynjarum í röð og hlutfallslega í myndbandsmerki og senda þær síðan í samstillt skannaðar myndrör og stilla birtustig þeirra til að fá skannamynd sem endurspeglar yfirborðsástand sýnisins. Ef merkið sem skynjarinn tekur á móti er stafrænt og breytt í stafrænt merki er hægt að vinna það frekar og geyma það í tölvunni. Skönnun rafeindasmásjár er aðallega notuð til að fylgjast með þykkum blokkasýnum með miklum hæðarmun og grófleika, og undirstrika þannig dýptarsviðsáhrif í hönnun. Það er almennt notað til að greina beinbrot og náttúrulegt yfirborð sem ekki hefur verið meðhöndlað með tilbúnum hætti.
Rafeindasmásjá og málmsmásjá
1, Mismunandi ljósgjafar: Málmsmásjá notar sýnilegt ljós sem ljósgjafa, en skanna rafeindasmásjá notar rafeindageisla sem ljósgjafa til myndatöku.
2, Meginreglan er önnur: málmsmásjá notar rúmfræðilegar sjónmyndareglur til að mynda, en skönnun rafeindasmásjá notar háorku rafeindageisla til að sprengja yfirborð sýnisins og örva ýmis eðlisfræðileg merki á yfirborðinu. Síðan eru mismunandi merkjaskynjarar notaðir til að taka á móti líkamlegum merkjum og breyta þeim í myndupplýsingar.
3, Mismunandi upplausn: Vegna truflana og dreifingar ljóss er aðeins hægt að takmarka upplausn málmsmásjár við 0.2-0.5um. Vegna notkunar rafeindageisla sem ljósgjafa, getur skanna rafeindasmásjár náð upplausn á milli 1-3nm. Þess vegna tilheyrir smábyggingarathugun málmsmásjárgreiningar smámælagreiningu, en örbyggingarathugun á skönnun rafeindasmásjár tilheyrir nanóskalagreiningu.
4, Mismunandi dýpt sviðs: Almennt er dýpt sviðs málmsmásjár á milli 2-3um, þannig að það hefur mjög miklar kröfur um yfirborðssléttleika sýnisins, þannig að sýnisframleiðsla þess er tiltölulega flókin. Skanna rafeindasmásjár hefur aftur á móti mikla dýptarskerpu, breitt sjónsvið og þrívíddarmyndaáhrif. Það getur beint fylgst með fínu uppbyggingu ýmissa ójöfnu yfirborðs sýna.
