Hversu marga nanómetra getur confocal smásjá séð?
Markmið efnisfræðinnar er að rannsaka áhrif yfirborðsbyggingar efnis á yfirborðseiginleika þess. Þess vegna er mikilvægt að greina yfirborðs landslag í mikilli upplausn til að ákvarða færibreytur sem tengjast yfirborðsgrófleika, endurskinseiginleikum, ættfræðieiginleikum og yfirborðsgæði. Confocal tækni er fær um að mæla efni með margs konar yfirborðsendurkastseiginleika og fá árangursríkar mælingar.
Laser confocal smásjáin, sem byggir á meginreglunni um confocal tækni, er skoðunartæki fyrir ör- og nanó mælingar á yfirborði ýmissa nákvæmnistækja og efna. Há mæliupplausn nær 0.5nm.
Umsóknir
1.MEMS
Málmæling á míkron og undirmíkron íhlutum, athugun á formgerð yfirborðs eftir ýmis ferli (þróun, æting, málmvæðing, CVD, PVD, CMP o.s.frv.), gallagreining.
2.Precision vélrænni íhlutir, rafeindatæki
Málmæling á míkron og undir-míkron íhlutum, athugun á formgerð yfirborðs eftir ýmis yfirborðsmeðferðarferli, lóðunarferli, gallagreining, agnagreining.
3.Hálfleiðari/LCD
Yfirborðsathugun eftir ýmsum ferlum (þróun, ætingu, málmvinnslu, CVD, PVD, CMP o.s.frv.), gallagreining Mæling á snertilausum línubreiddum, þrepadýpt o.fl.
4. Tribology, tæringu og önnur yfirborðsverkfræði
Rúmmálsmæling á slitmerkjum, grófmælingu, yfirborðsmynd, tæringu og yfirborðsmynd eftir undirmíkróna yfirborðsverkfræði.
Tæknilegar upplýsingar
Gerð: VT6100
Slagsvið: 100*100*100mm
Sjónsvið: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Endurtekningarhæfni hæðarmælinga (1σ): 12nm
Nákvæmni hæðarmælinga: ± (0.2+L/100) μm
Upplausn hæðarmælinga: 0,5 nm
Endurtekningarhæfni breiddarmælinga (1σ): 40nm
Breidd mælingar nákvæmni: ± 2%
Breidd mælingarupplausn: 1nm
