Ör-truflun uppgötvun meginregla yfirborðs ör-landslagi og þróun stöðu truflunar smásjá
(1) Breytingar á umfangi notkunar Fyrsta eftirspurnin eftir greiningu á yfirborðssmásjárgerð kemur fram í vandlega stjórn á smurningu, núningi og sliti í vélaiðnaðinum. Með hraðri þróun margra landamæragreina hefur umfang þessarar eftirspurnar stækkað til röntgengeislaljósfræði, ljósdiskaupplýsingaiðnaðar, öreindatækni, háhraða leysieðlisfræði og mörg önnur svið;
(2) Áður en samsetning tækisins breyttist notaði yfirborðsörformunarprófunartækið stílagerðina, sem var af vélrænni og rafmagnsgerðinni; þar sem kröfur um mjög nákvæmar óeyðandi prófanir voru settar fram á mörgum sviðum, ný tæki og nýjar reglur voru kynntar. Tækið er sjón- og vélrænt, rafmagn, útreikningar sameinuð gerð;
(3) Stöðug tilkoma nýrra meginreglna kemur aðallega fram í:
Tilkoma nýrra interferometerforma þýðir þróun frá hinum þekktu Fizeau, Linnik og Michelson formum yfir í nýju Mirau gerðina. Þessi tegund af truflunarmælir hefur þétta uppbyggingu og góða afköst gegn truflunum. Það er aðal interferometerformið sem hentar nýju prófunarreglunni VSI og FDA. Höfundur telur að huga þurfi að eftirfarandi tveimur atriðum þegar Mirau smásjá er þróað: (1) Til að tryggja ákveðna vinnufjarlægð þarf hún að vera sérhönnuð; (2) Þykkt geislaskiptingar, jöfnunarplötu og staðalplötu ætti ekki að vera stór, yfirleitt μm eða minni en μm. Þess vegna eru kröfurnar um efnisval þeirra og húðun miklar. Það eru aðrar tegundir af Dyson og Normarski með sameiginlega sjónleið. Í samanburði við aðrar gerðir eins og Dyson og Normarski, er auðvelt að bæta nákvæmni með klofinni sjónbrautartruflunum vegna notkunar á stöðluðu yfirborði með mikilli nákvæmni, en hún hefur strangar kröfur um umhverfisaðstæður (svo sem hitastig, titringur osfrv. .), og er almennt notað á rannsóknarstofum eða staðlaðri mælifræðideild; Algeng sjónleiðatruflunarsmásjá er ekki viðkvæm fyrir utanaðkomandi truflunum eins og vélrænni titringi og hitabreytingum og er hentugur fyrir netskoðun á verkstæðinu.
Til viðbótar við innleiðingu á nýju meginreglunni um fasaskiptatruflun (PSI) á sviði truflunarprófa, hafa nýjar prófunarreglur komið fram, auk uppfærðra reglna um tíðnisviðsgreiningu (FDA) og reglna um lóðrétt skönnunartruflun (VSI). . Í samanburði við meginregluna um fasaskiptatruflun, geta FDA og VSI útrýmt tvíræðni áfangastökks og henta fyrir prófunarkröfur grópa og þrepa á sviði öreindatækni og ljósdiskaupplýsingaiðnaðar; samanborið við FDA og VSI, fyrrnefnda fasamælingaraðferðin hefur gagnanýtingarhraða. Hátt, mikil nákvæmni, getur útrýmt litskekkju sjónkerfis interferometers osfrv., Sú síðarnefnda hefur eftirfarandi ókosti auk lítillar gagnanýtingar: (1) Vegna þess að andstæðan er auðveldlega fyrir áhrifum af handahófi hávaða, er tilviljunarkennd villa stundum stór:; (2) andstæða tengist litrófsstyrkdreifingu hvíta ljósgjafans, þannig að kröfurnar um stöðugleika litrófsstyrks hvíta ljósgjafans eru tiltölulega miklar.
(4) Breytingin á ljósgjafa samþykkir meginregluna um truflun á hvítu ljósi byggt á jöfnum sjónleiðinni. Í samanburði við leysiljósgjafann getur ljósgjafinn fyrir skipið útrýmt hávaða í truflunum og einbeitt nákvæmlega á mælda yfirborðið og leyst vandamálið með óskýrum fasabreytingum. Það er hentugur fyrir ör-sjóntækni og öreindatækni með stórt mælisvið og kröfur um meiri nákvæmni.
