Optísk smásjárgreining (OM) greining
Myndgreiningarreglan um sjón smásjá er að nota sýnilegt ljós til að geisla yfirborð sýnisins, sem veldur staðbundinni dreifingu eða íhugun til að mynda mismunandi andstæður. Vegna þess að bylgjulengd sýnilegs ljóss er eins hátt og {{0}} angstroms, er það náttúrulega það versta hvað varðar upplausn (eða mismunun, upplausn, sem vísar til næstu fjarlægðar milli tveggja atriða sem hægt er að leysa). Undir venjulegri notkun, vegna sjónrænnar mismununarhlutfalls aðeins 0. Hins vegar er sjónsviðið í raun það stærsta meðal ýmissa myndgreiningarkerfa, sem bendir til þess að athugun á sjón smásjá geti samt veitt mörg frumbyggingargögn.
Vélargerð
Greiningarumsókn
Stækkun og upplausn sjón smásjána, þó að það sé ekki hægt að mæta þörfum margra yfirborðs athugana, eru enn mikið notaðar í ýmsum forritum eins og:
Athugun á þversniðsbyggingu íhluta;
Greining og athugun á uppbyggingu planar seinkunar;
Athugun á botnfallsfrjálst svæði fyrir botnfall;
Athugun á mismunadreifingu og yfir etsuðum beyglum;
Rannsóknir á oxun bættu stafla galla (OSF).
