Skanna rafeindasmásjár og málmsmásjár „fara saman en á mismunandi vegu“
Skanna rafeindasmásjár og málmsmásjár eru bæði sjóntæki. Mörgum finnst gaman að nota málmsmásjá sem rafeindasmásjá, en það er mikill munur á þeim. Röng notkun mun aðeins leggja meiri byrðar á búnaðinn og flýta fyrir neyslu málmsmásjár.
1. Í fyrsta lagi eru meginreglurnar mismunandi: málmsmásjáin notar meginregluna um geometríska sjónmyndatöku til að framkvæma myndgreiningu, en skanna rafeindasmásjáin notar ýmis eðlisfræðileg merki sem örvuð eru af fínfókusuðum rafeindageislum þegar sýnisyfirborðið er skannað til að móta myndmyndun. Yfirborð sýnisins er sprengd með háorku rafeindageislum og ýmis eðlismerki eru spennt á yfirborði sýnisins. Mismunandi merkjaskynjarar eru notaðir til að taka á móti líkamlegu merkjunum og breyta þeim síðan í myndupplýsingar.
2. Í öðru lagi eru ljósgjafarnir ólíkir: málmsmásjáin notar sýnilegt ljós sem ljósgjafa til myndatöku, en skanna rafeindasmásjáin notar rafeindageisla sem ljósgjafa til myndatöku.
3. Mismunandi upplausn: Málmsmásjár verða fyrir truflunum og dreifingu sýnilegs ljóss og aðeins er hægt að takmarka upplausnina við 0.2-0.5um. Þar sem rafeindasmásjáin notar rafeindageisla sem ljósgjafa getur upplausn hennar náð á milli 1-3nm. Þess vegna er vefjaathugunin undir málmsmásjánni míkron-stigsgreining, en vefjaathugunin undir skanna rafeindasmásjánni er nanó-stigsgreining. Sýnisupplýsingarnar sem fást með rafeindasmásjánni eru ríkari. .
4. Mismunandi dýpt sviðs: Almennt er dýpt sviðs málmsmásjár á milli 2-3um, þannig að það hefur mjög miklar kröfur um yfirborðssléttleika sýnisins, þannig að undirbúningsferlið sýnisins er tiltölulega flókið. Dýpt sjónsviðs rafeindasmásjár er hundruð sinnum meiri en málmsmásjár. Hins vegar, vegna takmarkana á myndgreiningarreglunni, verður sýnisyfirborðið að vera leiðandi, þannig að sýnisyfirborðið verður að vera leiðandi.
Í samanburði við málmsmásjár hafa rafeindasmásjár breitt stillanlegt stækkunarsvið, mikla myndupplausn, mikla dýptarskerpu, ríkar þrívíðar myndir og geta fengið ríkari sýnishornsupplýsingar. Notkun þeirra er dýpri og umfangsmeiri en málmsmásjár.
