Nokkrar algengar flatnessmælingaraðferðir hæðarmælis
Flatleiki er eitt af rúmfræðilegu vikmörkunum, sem vísar til fráviks stór-íhvolf-kúptrar hæðar á yfirborði hlutarins frá kjörplani. Í hefðbundnum uppgötvunaraðferðum felur mæling á flatneskju venjulega yfir: mæliaðferð fyrir stingamæli/þreifaramæli, aðferð við vökvastig, mælingaraðferð með leysiflugvél interferometer (flat kristal interferometry aðferð), stigi mælir / stafrænn stigi mælingaraðferð og mælingar lögmál.
Mælingaraðferðin fyrir þreifamæli þarf aðeins sett af færanlegum þreifmælum til að framkvæma grófa mælingu á flatleika hvenær sem er og hvar sem er. Sem stendur nota margar verksmiðjur enn þessa aðferð til að greina. Vegna lítillar nákvæmni er þynnsti hefðbundni skynjari mælirinn 10um, uppgötvun skilvirkni er lítil, niðurstaðan er ekki nógu yfirgripsmikil og aðeins er hægt að greina brún hlutans.
Vökvastigsaðferðin, byggð á vinnureglu tengisins, er hentugur til að mæla flatleika samfelldra eða ósamfelldra stórra plana, en það tekur langan tíma að mæla og er viðkvæmt fyrir hitastigi, svo það hentar aðeins fyrir flugvélar með lágt mælingarnákvæmni.
Laser plane interferometer mælingaraðferð, dæmigerðasta notkunin er flat kristal interferometry. En það er aðallega notað til mælinga á sléttum litlum flugvélum, svo sem mæliyfirborði míkrómetersins, vinnuyfirborði mælisins og sjónlinsuna.
Stigmælingaraðferðin er mikið notuð til að mæla beinleika og flatleika á yfirborði vinnustykkisins. Mikil mælinákvæmni, góður stöðugleiki, lítil stærð, auðvelt að bera. Hins vegar, þegar þessi aðferð er notuð til að mæla, er nauðsynlegt að færa stöðu tækisins ítrekað og skrá gögn hvers mælipunkts, sem er tímafrekt, erfiður, langur aðlögunartími og gagnavinnsluferlið er fyrirferðarmikið.
Dæmigert beiting mælingaraðferðar er flatur míkrómeter og þriggja hnita tæki, þar á meðal er þriggja hnita tækið mest notað. Meðan á mælingunni stendur, færist vísirinn á sýnishornið sem á að prófa og gögn hvers mælipunkts miðað við mælingarviðmiðunina eru mæld samkvæmt völdum útsetningarpunktum og síðan er flatneskjuvillan metin með gagnavinnslu. En skilvirkni þess er lítil, venjulega tekur sýnishorn nokkrar mínútur, langt frá væntingum um 15ppm.
