Nokkur munur á skanna rafeindasmásjáum og málmsmásjáum
Í efnisgreiningartilraunum notum við oft rafeindasmásjár og málmsmásjár. Hver er munurinn á notkun þessara tveggja tækja? Tianzong Testing (SKYALBS) hefur tekið saman nokkrar upplýsingar hér til viðmiðunar og deilir þeim með öllum.
Málmsmásjá er smásjá sem notar innfallslýsingu til að fylgjast með yfirborði (málmbyggingu) málmsýnis. Það er þróað með því að sameina fullkomlega sjónsmásjártækni, ljósaumbreytingartækni og tölvumyndvinnslutækni. Hátæknivara sem getur auðveldlega fylgst með málmmyndum í tölvu og þannig greint, gefið einkunn og gefið út og prentað myndir.
Skönnun rafeindasmásjár (SEM) er smásjá formfræðileg athugunaraðferð milli rafeindasmásjár og sjónsmásjár. Það getur beint notað efniseiginleika sýnisyfirborðsefna til smásjármyndatöku. Auka rafeindamerkjamyndgreining er aðallega notuð til að fylgjast með yfirborðsformgerð sýnisins, það er að segja að mjög þröngur rafeindageisli er notaður til að skanna sýnið og ýmis áhrif verða framleidd með samspili rafeindageislans og sýnisins, það helsta. er efri rafeindalosun sýnisins. Auka rafeindir geta framleitt stækkaða staðfræðilega mynd af yfirborði sýnisins. Þessi mynd er sett í tímaröð þegar sýnishornið er skannað, það er að stækka myndin er fengin með punkt-fyrir-punkta myndmyndun.
Helsti munurinn á smásjánum tveimur er sem hér segir:
1. Mismunandi ljósgjafar: Málmsmásjár nota sýnilegt ljós sem ljósgjafa og skanna rafeindasmásjár nota rafeindageisla sem ljósgjafa fyrir myndgreiningu.
2. Mismunandi meginreglur: Málmsmásjár nota rúmfræðilegar sjónmyndareglur til að framkvæma myndgreiningu, en skanna rafeindasmásjár nota háorku rafeindageisla til að sprengja sýnisyfirborðið til að örva ýmis líkamleg merki á sýnisyfirborðinu og nota síðan mismunandi merkjaskynjara til að taka á móti líkamleg merki og umbreyta þeim í myndir. upplýsingar.
3. Mismunandi upplausn: Vegna truflana og dreifingar ljóss er aðeins hægt að takmarka upplausn málmsmásjár við 0.2-0.5um. Vegna þess að rafeindasmásjáin notar rafeindageisla sem ljósgjafa getur upplausn hennar náð á milli 1-3nm. Þess vegna tilheyrir vefjaathugunin undir málmsmásjánni míkron-stigsgreiningu, en vefjaathugunin undir skanna rafeindasmásjánni tilheyrir nanó-stigi greiningu.
4. Mismunandi dýpt sviðs: Almennt er dýpt sviðs málmsmásjár á milli 2-3um, þannig að það hefur mjög miklar kröfur um yfirborðssléttleika sýnisins, svo sýnisframleiðsla þess er tiltölulega flókin. Skanna rafeindasmásjáin hefur mikla dýptarsvið, stórt sjónsvið og þrívíddarmynd og getur beint fylgst með fíngerðum uppbyggingu ójöfnu yfirborðs ýmissa sýna.
Almennt eru sjónsmásjár aðallega notaðar til athugunar og mælinga á míkron-stigi mannvirkja á sléttum yfirborðum. Vegna þess að sýnilegt ljós er notað sem ljósgjafi er ekki aðeins hægt að fylgjast með yfirborðsvef sýnisins, heldur einnig vefinn innan ákveðins sviðs undir yfirborðinu og sjónsmásjár eru mjög viðkvæmar og nákvæmar fyrir litagreiningu. Rafeindasmásjár eru aðallega notaðar til að fylgjast með yfirborðsformgerð sýna á nanóskala. Vegna þess að SEM byggir á styrkleika líkamlegra merkja til að greina vefupplýsingar, eru myndirnar af SEM allar svarthvítar og SEM er vanmátt við að bera kennsl á litmyndir. Hins vegar getur rafeindasmásjáin ekki aðeins fylgst með skipulagsformgerð sýnisyfirborðsins, heldur einnig hægt að nota til eigindlegrar og megindlegrar greiningar á frumefnum með því að nota aukabúnað eins og orkurófsgreiningartæki, og er hægt að nota til að greina upplýsingar eins og efnasamsetning örsvæða sýna.
