Munurinn á rafeindasmásjá og málmsmásjá
Scanning ElectronMicroscope, skammstafað sem SEM, er flókið kerfi sem þéttir rafeinda sjóntækni, lofttæmistækni, fína vélrænni uppbyggingu og nútíma tölvustýringartækni. Skanna rafeindasmásjáin safnar rafeindunum sem rafeindabyssan gefur frá sér í lítinn rafeindageisla í gegnum fjölþrepa rafsegullinsu undir áhrifum hröðunar háspennu. Skönnun á yfirborði sýnisins örvar ýmsar upplýsingar og með því að taka á móti, magna og birta upplýsingarnar er hægt að greina yfirborð sýnisins. Samspil rafeinda sem falla inn og sýnisins framkallar þær tegundir upplýsinga sem sýndar eru á mynd 1. Tvívídd styrkleikadreifing þessara upplýsinga breytist með eiginleikum sýnisyfirborðsins (þessir eiginleikar fela í sér formgerð yfirborðs, samsetningu, stefnu kristals, rafsegulfræðilegir eiginleikar, o.s.frv.), sem er röð og hlutfallsleg umbreyting á upplýsingum sem safnað er með ýmsum skynjara. Myndbandsmerkinu er breytt í myndbandsmerki og síðan sent í samstillt skanna myndrör og birtustig þess er stillt til að fá skannaða mynd sem endurspeglar yfirborðsástand sýnisins. Ef merkið sem skynjarinn tekur á móti er unnið með stafrænum hætti og breytt í stafrænt merki er hægt að vinna það frekar og geyma það í tölvunni. Skanna rafeindasmásjá er aðallega notuð til að fylgjast með þykkum sýnum með miklum hæðarmun og grófu ójöfnu. Þess vegna eru dýptarsviðsáhrifin auðkennd í hönnuninni. Það er almennt notað til að greina beinbrot og náttúrulegt yfirborð sem ekki hefur verið unnið með tilbúnum hætti.
Rafeindasmásjá og málmsmásjá
1. Mismunandi ljósgjafar: Málmsmásjár nota sýnilegt ljós sem ljósgjafa og skanna rafeindasmásjár nota rafeindageisla sem ljósgjafa fyrir myndgreiningu.
2. Mismunandi meginreglur: Málmsmásjár nota meginregluna um geometríska sjónræna myndgreiningu til myndatöku, en skönnun rafeindasmásjár nota háorku rafeindageisla til að sprengja sýnisyfirborðið til að örva ýmis líkamleg merki á sýnisyfirborðinu og nota síðan mismunandi merkjaskynjara til að taka á móti líkamlegu merkin og breyta þeim í myndir. upplýsingar.
3. Mismunandi upplausn: Vegna truflana og dreifingar ljóss er aðeins hægt að takmarka upplausn málmsmásjár við 0.2-0.5um. Vegna þess að rafeindasmásjáin notar rafeindageisla sem ljósgjafa getur upplausn hennar náð á milli 1-3nm. Þess vegna tilheyrir vefjaathugunin undir málmsmásjánni míkron-stigsgreiningu, en vefjaathugunin undir skanna rafeindasmásjánni tilheyrir nanó-stigi greiningu.
4. Mismunandi dýpt sviðs: Almennt er dýpt sviðs málmsmásjár á milli 2-3um, þannig að það hefur mjög miklar kröfur um yfirborðssléttleika sýnisins, svo sýnisframleiðsla þess er tiltölulega flókin. Skanna rafeindasmásjáin hefur mikla dýptarsvið, stórt sjónsvið og þrívíddarmynd og getur beint fylgst með fíngerðum uppbyggingu ójöfnu yfirborðs ýmissa sýna.
