Tegundir og eiginleikar skanna rafeindasmásjáa
Það eru til ýmsar gerðir af skönnun rafeindasmásjáa og mismunandi gerðir af skönnun rafeindasmásjáa hafa árangursmun. Samkvæmt gerð rafeindabyssu er hægt að skipta henni í þrjár gerðir: rafeindabyssu á sviði, wolfram vírbyssu og lanthanum hexaboride. Meðal þeirra er hægt að skipta rafeindasmásjá í sviði í kalda sviði losunar Scanning rafeindasmásjá og losun á losun á heitum sviði rafeindasmásjá byggð á afköstum ljósgjafans. Losun á köldum sviði skönnun rafeindasmásjá krefst mikils lofttæmisaðstæðna, óstöðugs geislastraums, stuttra sendingar líftíma og krefst reglulegrar hreinsunar á nálarábendingunni, sem er takmörkuð við athugun á einni mynd og hefur takmarkað notkunarsvið; Losun á hitauppstreymi sem skannar rafeindasmásjá hefur ekki aðeins langan stöðugan vinnutíma, heldur er einnig hægt að sameina það með ýmsum fylgihlutum til að ná fram víðtækri greiningu. Á sviði jarðfræðinnar þurfum við ekki aðeins að fylgjast með forkeppni formgerðar sýna, heldur þurfum við einnig að greina aðra eiginleika sýna ásamt greiningartækjum, þannig að notkun hitauppstreymislosunarskönnun rafeindasmásjá er umfangsmeiri.
Þrátt fyrir að skönnun rafeindasmásjá sé nýliði í smásjárfjölskyldunni er þróunarhraði þess mjög hröð vegna margra kosta sinna.
Tækið hefur mikla upplausn og getur fylgst með upplýsingum um um það bil 6nm á yfirborði sýnisins með efri rafeindamyndun. Með því að nota Lab6 rafeindabyssu er hægt að bæta það frekar í 3Nm.
Tækið hefur fjölbreytt úrval af stækkunarbreytingum og hægt er að stilla það stöðugt. Þess vegna er hægt að velja mismunandi stærðir sjónsviðs til athugunar eftir þörfum og skýrar myndir með mikilli birtustig sem erfitt er að ná með almennri smásjárrafeindasmásjá er einnig hægt að fá við mikla stækkun.
Dýpt reitsins og sjónsvið sýnisins er stórt og myndin er rík af þrívíddar skilningi. Það getur beint fylgst með grófum flötum með stórum óstöðugum og ójafnri málmbrotamyndum af sýninu, sem gefur fólki tilfinningu fyrir því að vera til staðar í smásjárheiminum.
Undirbúningur 4 sýnanna er einfaldur. Svo lengi sem blokkin eða duftsýni eru örlítið meðhöndluð eða ekki meðhöndluð, er hægt að sjá þau beint undir skönnun rafeindasmásjá, sem er nær náttúrulegu ástandi efnisins.
5. Hægt er að stjórna myndgæðum og bæta með rafrænum aðferðum, svo sem sjálfvirku viðhaldi birtustigs og andstæða, leiðréttingu hallahorns sýnisins, snúning myndar, eða endurbætur á andstæða umburðarlyndi myndarinnar í gegnum Y mótun, svo og hóflega birtustig og myrkur í ýmsum hlutum myndarinnar. Með því að nota tvöfalt stækkunartæki eða myndval er hægt að sjá myndir með mismunandi stækkunum samtímis á flúrperunni.
6 er hægt að sæta yfirgripsmikla greiningu. Settu upp bylgjulengd dreifandi röntgenmyndun (WDX) eða orkudreifandi röntgenmyndun (EDX) til að gera það kleift að virka sem rafeindasannsókn og greina endurspeglaðar rafeindir, röntgengeislar, katdóluminescence, send rafeindir, snjó rafeindir osfrv. Með því að stækka notkun skönnun rafeindasmásjár í ýmsar smásjár- og örsvæðagreiningaraðferðir hefur sýnt fram á margnota skönnun rafeindasmásjá. Að auki er einnig mögulegt að greina valin ör svæði úrtaksins en fylgjast með formgerðarmyndinni; Með því að setja upp hálfleiðara sýnihaldara er hægt að fylgjast með PN mótum og örgöllum í smári eða samþættum hringrásum beint með rafsegulkraftamagni. Vegna útfærslu rafrænna tölvu sjálfvirkrar og hálfsjálfvirkrar stjórnunar fyrir marga rafeindasmásjá rafeindafræðilega rafeinda, hefur hraði megindlegrar greiningar verið bætt til muna.
