Notkun confocal smásjár í hálfleiðara iðnaði
Í því ferli að framleiða-hálfleiðara í stórum stíl er nauðsynlegt að setja samþætta hringrásarflögur á skífuna, skipta þeim síðan í ýmsar einingar og að lokum pakka þeim og lóða. Þess vegna er nákvæm stjórnun og mæling á stærð oblátaskurðarrópsins afgerandi hlekkur í framleiðsluferlinu.
Confocal smásjá er smásæ uppgötvunartæki sett af Zhongtu Instrument, mikið notað í hálfleiðara framleiðslu og pökkunarferlum. Það getur framkvæmt-snertilausa skönnun og endurbyggt þrívíða-formgerð yfirborðseiginleika með flóknum formum og bröttum leysiskurðarrópum.
Confocal smásjá hefur framúrskarandi sjónupplausn og í gegnum skýrt myndgreiningarkerfi getur hún fylgst með eiginleikum yfirborðs yfirborðsins í smáatriðum, svo sem hvort það séu gallar eins og brún brot og rispur á yfirborði skífunnar. Rafmagnsturninn getur sjálfkrafa skipt á milli mismunandi hlutlægra stækkunar og hugbúnaðurinn fangar sjálfkrafa eiginleika brúna fyrir hraðvirka tvívíddar stærðarmælingu og greinir þar með og gæðastýrir yfirborði skífunnar á skilvirkari hátt.
Í því ferli að leysir skera oblátur er nákvæm staðsetning nauðsynleg til að tryggja að hægt sé að skera gróp eftir réttri útlínu á disknum. Gæði oblátrar skiptingar eru venjulega mæld með dýpt og breidd skurðarrópanna. VT6000 röð confocal smásjá, byggt á confocal tækni og búin háhraða skannaeiningum, hefur faglega greiningarhugbúnað með fjölsvæða og sjálfvirkum mælingaraðgerðum. Það getur fljótt endurbyggt þrívíddar útlínur leysigróps prófuðu skífunnar og framkvæmt fjölsniðagreiningu til að fá upplýsingar um rásdýpt og breidd þversniðs-.
