Atómaflssmásjá og notkun hennar
Atomic force smásjá er skönnun rannsaka smásjá þróuð út frá grunnreglunni um skönnun göng smásjá. Tilkoma atómaflssmásjáarinnar hefur án efa átt þátt í að stuðla að þróun nanótækni. Skannarannsóknarsmásjáin sem er táknuð með atómkraftssmásjánni er almennt hugtak fyrir röð smásjár sem nota lítinn rannsakanda til að skanna yfirborð sýnisins til að veita athugun með mikilli stækkun. AFM skönnun getur veitt upplýsingar um yfirborðsástand ýmissa tegunda sýna. Í samanburði við hefðbundnar smásjár er kosturinn við atómaflsmásjá að hún getur fylgst með yfirborði sýnisins í mikilli stækkun við aðstæður í andrúmslofti og hægt er að nota það fyrir næstum öll sýni (með ákveðnum kröfum um yfirborðsfrágang) og sýnisyfirborðið getur verið fengin án annars undirbúnings sýna. 3D mynd af . Það getur einnig framkvæmt grófleikaútreikning, þykkt, skrefbreidd, blokkarmynd eða kornastærðargreiningu á skönnuðu 3D landslagsmyndinni.
AFM getur greint mörg sýni og veitt gögn fyrir yfirborðsrannsóknir og framleiðslustýringu eða vinnsluþróun, sem ekki er hægt að veita með hefðbundnum skanna yfirborðsgrófleikamælum og rafeindasmásjáum.
Eiginleikar Atomic Force smásjárskoðunar
1. Háupplausnarmöguleikar eru langt umfram það sem hægt er að skanna rafeindasmásjár (SEM) og sjónræna grófleikamæla. Þrívíddargögn sýnisyfirborðsins uppfylla sífellt smásjárlegar kröfur um rannsóknir, framleiðslu og gæðaeftirlit.
2. Ekki eyðileggjandi, víxlverkunarkrafturinn milli rannsakans og sýnisyfirborðsins er minni en 10-8N, sem er mun lægri en þrýstingur fyrri grófleikamælis, þannig að það skemmir ekki sýnið, og þar er ekkert vandamál af rafeindageislaskemmdum í skanna rafeindasmásjánni. Að auki krefst skönnun rafeindasmásjár húðunar á óleiðandi sýnum, en frumeindakraftsmásjár gerir það ekki.
3. Það er hægt að nota í fjölmörgum forritum, svo sem yfirborðsathugun, stærðarmælingu, yfirborðsgrófleikamælingu, kornastærðargreiningu, tölfræðilegri vinnslu á útskotum og gryfjum, mat á filmumyndunarskilyrðum, mælingu á stærðarþrepum hlífðarlags, flatleika mat á millilaga einangrunarfilmum, mat á VCD húðun, mat á núningsmeðferðarferli stilltrar filmu, gallagreining o.fl.
4. Hugbúnaðurinn hefur sterka vinnsluaðgerðir og hægt er að stilla þrívíddarmyndaskjástærð, sjónarhorn, skjálit og gljáa frjálslega. Og getur valið net, útlínulínu, línuskjá. Makróstjórnun myndvinnslu, þversniðs lögun og grófleikagreining, staðfræðigreining og aðrar aðgerðir.
