Munur á rafeindasmásjáum og málmsmásjáum
Meginreglur rafeindasmásjár
Skanna rafeindasmásjá (SEM), skammstafað sem SEM, er flókið kerfi; það þéttir rafeindasjóntækni, lofttæmistækni, fína vélrænni uppbyggingu og nútíma tölvustýringartækni. Skanna rafeindasmásjáin safnar rafeindunum sem rafeindabyssan gefur frá sér í fínan rafeindageisla í gegnum fjölþrepa rafsegullinsu undir áhrifum hraðari háspennu. Skannaðu yfirborð sýnisins til að örva ýmsar upplýsingar og greina yfirborð sýnisins með því að taka á móti, magna og sýna upplýsingarnar. Samspil rafeinda aðfallandi við sýnið framleiðir þær tegundir upplýsinga sem sýndar eru á mynd 1. Tvívídd styrkleikadreifing þessara upplýsinga breytist með eiginleikum sýnisyfirborðsins (þessir eiginleikar fela í sér formgerð yfirborðs, samsetningu, kristalstefnu, rafsegulfræðilega eiginleika , o.s.frv.), og upplýsingum sem safnað er með ýmsum skynjarum er breytt í röð og hlutfallslega. Myndbandsmerki er sent í samstillt skannað myndrör og birtustig þess er stillt til að fá skannamynd sem endurspeglar yfirborðsástand sýnisins. Ef merkið sem skynjarinn tekur á móti er stafrænt og breytt í stafrænt merki er hægt að vinna það frekar og geyma það í tölvu. Skanna rafeindasmásjáin er aðallega notuð til að fylgjast með þykkum sýnum með miklum hæðarmun og grófleika, þannig að dýptarsviðsáhrifin eru lögð áhersla á í hönnuninni og hún er almennt notuð til að greina beinbrot og náttúruleg yfirborð sem ekki hafa verið tilbúnar unnar.
Rafeindasmásjá og málmsmásjá
1. Mismunandi ljósgjafar: málmsmásjár nota sýnilegt ljós sem ljósgjafa, og skanna rafeindasmásjár nota rafeindageisla sem ljósgjafa til myndatöku.
2. Meginreglan er önnur: málmsmásjáin notar meginregluna um geometríska sjónmyndatöku fyrir myndgreiningu og skanna rafeindasmásjáin notar háorku rafeindageisla til að sprengja sýnisyfirborðið til að örva ýmis líkamleg merki á sýnisyfirborðinu og nota síðan mismunandi merkjaskynjarar til að taka á móti líkamlegum merkjum og umbreyta þeim í myndupplýsingar.
3. Upplausnin er önnur: vegna truflana og dreifingar ljóss er aðeins hægt að takmarka upplausn málmsmásjár við 0.2-0.5um. Vegna þess að rafeindasmásjáin notar rafeindageisla sem ljósgjafa getur upplausn hennar náð á milli 1-3nm. Þess vegna tilheyrir vefjaskoðun málmsmásjár greiningu á míkrónakvarða og vefjaskoðun á skönnun rafeindasmásjár tilheyrir nanó-kvarða greiningu.
4. Dýptarskerðingin er önnur: dýptarskerðing almennrar málmsmásjár er á milli 2-3um, þannig að það gerir mjög miklar kröfur um sléttleika yfirborðs sýnisins, þannig að undirbúningsferlið sýnisins er tiltölulega flókið. Skanna rafeindasmásjáin hefur mikla dýptarsvið, stórt sjónsvið og þrívíddarmyndgreiningu, sem getur beint fylgst með fíngerðri uppbyggingu ójafns yfirborðs ýmissa sýna.
