Skýring á muninum á leysisfókusmásjá og skanna rafeindasmásjá
Laser confocal smásjá og skanna rafeinda smásjá eru bæði punkt-uppspretta skönnun myndgreining, og stækkunin er stillt með því að stjórna skönnun aksturssviði. Laser confocal smásjá vinnur með laserskönnun og getur náð þrívíddarmyndum. Skanna rafeindasmásjá (SEM) notar ýmis eðlisfræðileg merki sem örva með fínfókus rafeindageislaskönnun á sýnisyfirborðinu til að móta myndgreiningu og aðeins er hægt að fá tvívíðar myndir, en ekki þrívíddar myndir.
1. Mismunandi hámarksupplausn (mismunandi mögnunarmerkjagjafar)
Laser confocal: hámarksupplausnin er 150nm.
Skanna rafeindasmásjá: 20nm~0,8nm
2. Mismunandi skanna akstursstillingar.
Laser confocal: leysisnúningsspegillinn stjórnar leysiskönnunarsviði og skönnunarhraða.
Skanna rafeindasmásjá: rafsegulspóla stjórnar skönnunarsviði og skannahraða rafeindageisla.
3. Stereómyndataka er öðruvísi
Laser confocal: sýnishornið er myndað lag fyrir lag í Z-ás stefnu með nanó-nákvæmni skrefmótor og hugbúnaðurinn myndar settar myndir hvers lags í skýra þrívíddarmynd.
Skanna rafeindasmásjá (SEM): Eins ramma mynd hefur mikla dýptarskerpu og tilheyrir tvívíðri mynd.
4, umfang umsóknarinnar er öðruvísi
Laser confocal: nokkrum sinnum til nokkur þúsund sinnum
Skanna rafeindasmásjá: nokkrum sinnum til nokkur hundruð þúsund sinnum
5. Mismunandi vinnuumhverfi
Laser confocal: Það getur prófað sýni í andrúmslofti.
Skanna rafeindasmásjá: prófunarsýni í umhverfi með miklu lofttæmi.
