Kynning á eiginleikum skönnunarrafeindasmásjáa
Skanna rafeindasmásjá (SEM) er stórt nákvæmnistæki sem notað er til að greina formgerð í hárri upplausn. Það hefur einkenni mikillar dýptarskerpu, mikillar upplausnar, leiðandi myndgreiningar, sterkrar þrívíddartilfinningar, breitt stækkunarsvið og getu til að snúa og halla prófunarsýninu í þrívíddarrými. Að auki hefur það kosti margs konar mælanlegra sýnategunda, nánast engin skemmdir eða mengun á upprunalegu sýninu og getu til að fá samtímis formgerð, uppbyggingu, samsetningu og kristallaupplýsingar. Sem stendur hefur skönnun rafeindasmásjár verið mikið notuð í smásjárannsóknum á sviðum eins og lífvísindum, eðlisfræði, efnafræði, réttlæti, jarðvísindum, efnisvísindum og iðnaðarframleiðslu. Á sviði jarðvísinda eingöngu nær það til kristallafræði, jarðefnafræði, steinefnaútfellinga, setefnafræði, jarðefnafræði, jarðefnafræði, örsteinefnafræði, stjörnufræði, olíu- og gasjarðfræði, verkfræðijarðfræði og byggingarjarðfræði.
Þrátt fyrir að skanna rafeindasmásjár sé nýliði í smásjáfjölskyldunni er þróunarhraði hennar mjög hraður vegna margra kosta.
Tækið hefur mikla upplausn og getur fylgst með smáatriðum um það bil 6nm á yfirborði sýnisins með efri rafeindamyndgreiningu. Með því að nota LaB6 rafeindabyssu er hægt að bæta hana enn frekar í 3nm.
Tækið hefur mikið úrval af stækkunarbreytingum og hægt er að stilla það stöðugt. Því er hægt að velja mismunandi stærðir af sjónsviðum til athugunar eftir þörfum og einnig er hægt að fá skýrar myndir með mikilli birtu sem erfitt er að ná með almennri rafeindasmásjá með mikilli stækkun.
Dýptarskerðing og sjónsvið sýnisins eru mikil og myndin er rík af þrívíddarskilningi. Það getur beint fylgst með gróft yfirborð með stórum bylgjum og ójöfnum málmbrotamyndum af sýninu, sem gefur fólki tilfinningu fyrir því að vera til staðar í smásjárheiminum.
Undirbúningur sýnanna fjögurra er einföld. Svo framarlega sem kubbs- eða duftsýnin eru lítillega meðhöndluð eða ekki meðhöndluð er hægt að fylgjast með þeim beint undir skanna rafeindasmásjá, sem er nær náttúrulegu ástandi efnisins.
5. Hægt er að stjórna myndgæðum á áhrifaríkan hátt og bæta með rafrænum aðferðum, svo sem sjálfvirku viðhaldi á birtustigi og birtuskilum, leiðréttingu á halla sýnishorns, myndsnúningi eða bættri birtuskilum í gegnum Y mótun, sem og meðallagi birtu og myrkurs í ýmsum hlutum myndarinnar. Með því að nota tvöfaldan stækkunarbúnað eða myndval er hægt að sjá myndir með mismunandi stækkunum samtímis á flúrljómandi skjánum.
6 er hægt að fara í yfirgripsmikla greiningu. Settu upp bylgjulengdardreifandi röntgenlitrófsmæli (WDX) eða orkudreifandi röntgengreiningarrófsmæli (EDX) til að gera honum kleift að virka sem rafeindanemi og greina endurkastaðar rafeindir, röntgengeisla, kaþódóluminescence, sendar rafeindir, auger rafeindir osfrv. af sýninu. Með því að víkka út notkun rafeindasmásjár í ýmsar smásjár- og örsvæðisgreiningaraðferðir hefur sýnt fram á fjölvirkni skönnunar rafeindasmásjár. Að auki er einnig hægt að greina valin ör svæði sýnisins á meðan horft er á formgerð myndarinnar; Með því að setja upp sýnishornsfestinguna fyrir hálfleiðara er hægt að fylgjast beint með PN-mótum og örgöllum í smára eða samþættum hringrásum í gegnum rafkraftsmyndamagnara. Vegna framkvæmdar sjálfvirkrar og hálfsjálfvirkrar rafrænnar tölvustýringar fyrir marga rafeindasmásjá rafeindarannsókna hefur hraði magngreiningar verið bætt verulega.
