Nafn og virkni hvers hluta ruðningssmásjáarinnar
Byggt á meginreglunni um confocal tækni er confocal smásjáin notuð til að mæla yfirborð ýmissa nákvæmnistækja og efna á ör- og nanóstigi og getur beint mynd af yfirborðsformgerð efnissýna með hliðarupplausn allt að 1 nm og Z-ás upplausn allt að 0,5 nm. Það getur ekki aðeins mælt yfirborðsformgerð sýnisins og veitt það hlutverk að einkenna smásjá formgerð sniðstærðarmælingarinnar, heldur einnig veitt fimm helstu greiningaraðgerðir, svo sem grófleikagreiningu, geometrísk sniðgreining, burðargreiningu, tíðnigreiningu og hagnýtur virkni. greiningu. Grófleikagreining, rúmfræðileg sniðgreining, byggingargreining, tíðnigreining og virknigreining eru einnig veittar.
Grófleikagreining felur í sér greiningu á fullri færibreytu samkvæmt ISO4287 línugrófleika, ISO25178 yfirborðsgrófleika, ISO12781 flatleika osfrv.; geometrísk útlínugreining felur í sér þrepahæð, fjarlægð, horn, sveigju og aðrar mælingar á eiginleikum og mat á beinu, kringlóttu og formþoli; burðarvirkisgreining felur í sér rúmmál holanna og dýpt trogsins osfrv.; tíðnigreining felur í sér stefnu kornsins og litrófsgreiningu; hagnýtur greining felur í sér stefnu og tíðnirófsgreiningu; tíðnigreining felur í sér stefnu og tíðnirófsgreiningu; og virknigreining er einnig fáanleg. Tíðnigreining felur í sér áferðarstefnu og litrófsgreiningu; Virknigreining inniheldur SK breytur og rúmmálsbreytur.
Uppbygging confocal smásjá samanstendur aðallega af: smásjá, leysir ljósgjafi, skanna tæki, skynjari, tölvukerfi (þar á meðal gagnaöflun, vinnsla, umbreyting, umsókn hugbúnaður), mynd úttak tæki, sjón tæki og confocal kerfi.
Í keramik, málmum, hálfleiðurum, flísum og öðrum efnisvísindum og framleiðsluskoðunarsviði hefur confocal smásjá margs konar notkunarmöguleika. Confocal smásjá byggt á meginreglunni um confocal smásjárskoðun, snertilaus skönnun á yfirborði tækisins og stofnun yfirborðs 3D mynd, í gegnum kerfishugbúnað á yfirborði tækisins 3D myndgagnavinnslu og greiningu, til að fá 2D, 3D breytur sem endurspegla gæði yfirborðs tækisins, til að ná fram formgerð tækisins yfirborðs 3D mælingu.
Getur verið mikið notaður í hálfleiðara framleiðslu og pökkunarferli skoðun, 3C rafrænum glerskjá og nákvæmni hlutum hans, sjónvinnslu, ör-nano-efni framleiðslu, bílahlutum, MEMS tæki og öðrum ofurnákvæmni vinnsluiðnaði og geimferðum, vísindarannsóknastofnunum og öðrum sviðum. Mældu og greina yfirborðssniðið, yfirborðsgalla, slit, tæringu, flatleika, grófleika, bylgju, hola úthreinsun, þrepahæð, beygjuaflögun, vinnslu og aðra yfirborðseiginleika ýmissa vara, íhluta og yfirborðs efnis.
