Notkun confocal smásjár í hálfleiðaraiðnaðinum
Í því ferli að framleiða-hálfleiðara í stórum stíl er nauðsynlegt að setja samþætta hringrásarflögur á skífuna, skipta þeim síðan í ýmsar einingar og að lokum pakka þeim og lóða. Þess vegna er nákvæm stjórnun og mæling á stærð oblátaskurðarrópsins afgerandi hlekkur í framleiðsluferlinu.
VT6000 röð confocal smásjáin er smásjá skoðunarbúnaður settur af Zhongtu Instrument, mikið notaður í hálfleiðara framleiðslu og pökkunarferlum. Það getur framkvæmt-snertilausa skönnun og endurbyggt þrívíða-formgerð yfirborðseiginleika með flóknum formum og bröttum leysiskurðarrópum.
VT6000 röð confocal smásjáin hefur framúrskarandi sjónupplausn og getur fylgst með einkennum skífuyfirborðsins í smáatriðum með skýru myndkerfi, svo sem að athuga hvort það séu gallar eins og brún brot og rispur á yfirborði skífunnar. Rafmagnsturninn getur sjálfkrafa skipt á milli mismunandi hlutlægra stækkunar og hugbúnaðurinn tekur sjálfkrafa upp brúnir á eiginleikum fyrir hraðvirka tvívíddar stærðarmælingu og greinir þannig og gæðastýrir yfirborði skífunnar á skilvirkari hátt.
Í því ferli að leysir skera oblátur er nákvæm staðsetning nauðsynleg til að tryggja að hægt sé að skera gróp eftir réttri útlínu á disknum. Gæði oblátrar skiptingar eru venjulega mæld með dýpt og breidd skurðarrópanna. VT6000 röð confocal smásjá, byggt á confocal tækni og búin háhraða skannaeiningum, hefur faglega greiningarhugbúnað með fjölsvæða og sjálfvirkum mælingaraðgerðum. Það getur fljótt endurbyggt þrívíddar útlínur leysigróps prófuðu skífunnar og framkvæmt fjölsniðagreiningu til að fá upplýsingar um rásdýpt og breidd þversniðs-.
