Munurinn á milli leysisfókussmásjár og skanna rafeindasmásjár er sem hér segir
Bæðilaser confocal hljóðnemiroscopes og SEM eru punkt-uppspretta, punkt-fyrir-punkt skönnun myndmyndun þar sem stækkunin er stillt með því að stjórna skönnun drifsviðs. Laser confocal smásjá vinnur með því að skanna með leysi til að fá þrívíðar myndir. Skönnun rafeindasmásjá er notkun fínfókusar rafeindageisla í sýnisyfirborði skönnun örvunar á ýmsum líkamlegum merkjum til að móta myndgreininguna, getur aðeins fengið tvívíðar myndir, getur ekki fengið þrívíddar myndir.
1, mismunandi takmarkandi upplausn (mögnun mismunandi merkjagjafa)
Laser confocal: fullkomin upplausn 150nm
Skanna rafeindasmásjá: 20nm ~ 0,8nm
2, mismunandi skanna drifhamur
Laser confocal: leysisnúningsspegill til að stjórna leysiskönnunarsviði og skönnunarhraða
Skanna rafeindasmásjá: rafsegulspólustjórnun rafeindageislaskönnunarsviðs og skönnunarhraða
3, Mismunandi steríómynd
Laser confocal: sýnishornið er knúið áfram af nanó-nákvæmni stigmótor í Z-ás stefnu lag fyrir lag myndmyndun, hugbúnaðurinn mun stilla mynd hvers lags til að búa til skýra 3D steríómynd.
Skanna rafeindasmásjá: eins ramma mynd með mikilli dýptarskerpu, sem tilheyrir tvívíðu myndinni.
4, Mismunandi notkunarsvið
Laser confocal: nokkrum sinnum til nokkur þúsund sinnum
Skanna rafeindasmásjá: nokkrum sinnum ~ hundruð þúsunda sinnum
5, mismunandi vinnuumhverfi
Laser confocal: getur prófað sýni í andrúmsloftinu
Skanna rafeindasmásjá: prófunarsýni í umhverfi með miklu lofttæmi.
