1. Stækkun
Ólíkt venjulegum ljóssmásjáum, í SEM, er stækkuninni stjórnað með því að stjórna stærð 3-skannasvæðisins. Ef þörf er á meiri stækkun, skannaðu bara minna svæði. Stækkunin fæst með því að deila skjánum/myndasvæðinu með skannasvæðinu. Þess vegna, í SEM, hefur linsan ekkert með stækkun að gera.
2. Dýpt sviðs
Í SEM geta sýnispunktarnir sem staðsettir eru á litlu lagsvæði fyrir ofan og neðan brenniplanið verið vel fókusaðir og myndaðir. Þykkt þessa litla lags er kölluð dýpt sviðs og er yfirleitt nokkrir nanómetrar á þykkt, þannig að hægt er að nota SEM fyrir þrívíddarmyndatöku af sýnum á nanóskala.
3. Aðgerðarmagn
Rafeindageislinn hefur ekki aðeins samskipti við frumeindirnar á yfirborði sýnisins, hann hefur í raun samskipti við atómin í sýninu innan ákveðins þykktarbils, þannig að það er víxlverkun "rúmmál". Þykkt aðgerðarúmmálsins er mismunandi eftir merkinu:
Ou Ge rafeindatækni: 0.5~ 2nm.
Auka rafeindir: 5A, fyrir leiðara, λ=1 nm; fyrir einangrunarefni, λ=10 nm.
Afturdreifðar rafeindir: 10 sinnum hærri en aukarafeindir.
Einkennandi röntgengeislar: míkron mælikvarði.
Röntgensamfella: örlítið stærri en einkennandi röntgengeislar, einnig á míkrómetrakvarða.
4. Vinnuvegalengd
Vinnslufjarlægð vísar til lóðréttrar fjarlægðar frá markmiði að hæsta punkti sýnisins.
Ef vinnufjarlægð er aukin er hægt að fá meiri dýpt með því skilyrði að aðrar aðstæður haldist óbreyttar.
Ef vinnufjarlægðin minnkar er hægt að fá hærri upplausn að sama skapi.
Almennt notuð vinnufjarlægð er á milli 5 mm og 10 mm.
5. Myndataka
Hægt er að nota aukarafeindir og bakdreifðar rafeindir til myndatöku, sú síðarnefnda er ekki eins góð og sú fyrrnefnda, þannig að aukarafeindir eru venjulega notaðar.
6. Yfirborðsgreining
Framleiðsluferli Og rafeinda, einkennandi röntgengeisla og bakdreifra rafeinda eru öll tengd atómeiginleikum sýnanna, þannig að hægt er að nota þau til samsetningargreiningar. Hins vegar, þar sem rafeindageislinn kemst aðeins í gegnum mjög grunnt lag af yfirborði sýnisins (sjá verkunarrúmmál), er aðeins hægt að nota hann til yfirborðsgreiningar.
Einkennandi röntgengreining er algengasta yfirborðsgreiningin og notaðar eru tvær gerðir skynjara: orkurófsgreiningartæki og litrófsgreiningartæki. Hið fyrra er hratt en ekki nákvæmt, hið síðara er mjög nákvæmt og getur greint tilvist snefilefna en tekur of langan tíma.
