Hverjir eru þættirnir sem hafa áhrif á mælingarnákvæmni þegar lagamælirinn mælir þurrfilmuþykktina?
1. þykkt þekjulaga
Óvissa mælinga er eðlislæg einkenni mælingaraðferða við þykkt þykktar. Fyrir þynnri hlífarlög (td minna en 25 μ m) er mæling óvissunnar stöðugt gildi, óháð þykkt hlífðarlagsins, og óvissan um hverja mælingu er að minnsta kosti 0. 5 μ m. Fyrir tækið er þessi óvissa á bilinu 0. 5 μ m til 1 μ m. Fyrir þykkari hlífarlög með þykkt sem er meiri en 25 μ m er þörf á ákveðnu hlutfalli þykktar. Fyrir þetta tæki er óvissan 2% af þykkt hlífðarlagsins.
Fyrir þekjulög með þykkt minna en eða jafnt og 5 μ m, ætti að taka þykktargildið sem meðaltal nokkurra mælinga.
Fyrir hlífðarlög með þykkt minna en 3 μ m er ekki hægt að mæla gildi filmuþykktarinnar.
2. Leiðni grunnmálmsins
Mælingargildi mælingaraðferðar við þykkt þykktar verður fyrir áhrifum af leiðni grunnmálmsins. Leiðni málma er tengd efnissamsetningu þeirra og hitameðferð. Áhrif leiðni á mælingu eru verulega mismunandi eftir framleiðanda og líkani tækisins. Mæling á þessu tæki hefur lítil áhrif á leiðni grunnmálmsins.
3. Þykkt grunnmálmsins
Hvert tæki hefur gagnrýnið þykktargildi fyrir grunnmálminn, umfram það sem mæld gildi verður ekki fyrir áhrifum af aukningu á grunnmálmþykkt. Þetta mikilvæga þykkt gildi fer eftir rekstrartíðni tækjakerfisins og leiðni grunnmálmsins. Gagnrýnið þykkt gildi þessa tækis er um það bil {{0}}. 3 ~ 0,4 mm.
Það er óáreiðanlegt að stafla sýnum með grunnmálmþykkt undir mikilvægu stigi með óhúðað efni af sama efni og þykkt.
4. brúnáhrif
Geggjamælirinn í þykkt er viðkvæmur fyrir yfirborðsstöðvum sýnisins. Mælingar sem eru of nálægt brún sýnisins eru óáreiðanlegar. Ef það er nauðsynlegt að mæla á litlu svæði sýni eða þröngt ræma sýni, er hægt að nota óhúðað efni með sömu lögun og undirlagið til að kvarða tækið. Fyrir þetta tæki, þegar mælingarsvæðið er minna en 150 mm2 eða breidd sýnisins er minni en 12 mm, ætti að kvarða tækið á samsvarandi óhúðuðu efni.
5. Sveigja
Breytingin á sveigju sýnisins mun hafa áhrif á mæld gildi. Því minni sem sveigja sýnisins, því meiri er áhrif á mæld gildi. Fyrir þetta tæki, þegar þú mælir sýni með þvermál minna en 50 mm, ætti að kvarða tækið á óhúðað efni af sama þvermál.
6. Ójöfnur á yfirborði
Yfirborðs ójöfnur grunnmálmsins og hlífðarlagsins hefur áhrif á mæld gildi. Að taka meðaltal margra mælinga á mismunandi stöðum getur dregið úr þessum áhrifum. Ef yfirborð grunnmálmsins er gróft ætti núllpunktur tækisins að vera kvarðaður á mörgum stöðum á samsvarandi málmefni áður en hann er lagaður.
